
生長臺尺寸:φ70mm 可同時生長7mm*7mm單晶45粒
10mm*10mm單晶21粒
控制方式:觸摸屏控制,PLC工藝菜單運行(手動或自動)
微波電源: MUEGGE 6KW 2.45GHz
真空泵:Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泵
流量計:日本KOFLOC
H2(1000sccm) 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2(10sccm)
腔體冷卻方式:強制風(fēng)冷+水冷
測溫:紅外測溫儀300-1400℃
機臺尺寸:1215mm(長)*1114mm(寬)*2000mm(高)
供電:380V 三相五線
能耗:12kw
工業(yè)環(huán)保網(wǎng)APP
企業(yè)手機版商城
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